ВОЗМОЖНОСТИ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ РАЗМЕРАМИ МЕНЕЕ 5 НМ
Г.Я. Красников
Abstract
Рассмотрены особенности технологических процессов в производстве интегральных схем с различными минимальными проектными нормами, а также возможности применения технологий с топологическими размерами менее 5 нм для создания МОП-транзисторов и интегральных схем на их основе.
Topics & Concepts
MedicineMilitary Technology and StrategiesLegal and Regulatory AnalysisLinguistic, Cultural, and Literary Studies