Litcius/Paper detail

ВОЗМОЖНОСТИ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ С ТОПОЛОГИЧЕСКИМИ РАЗМЕРАМИ МЕНЕЕ 5 НМ

Г.Я. Красников

2020Nanoindustry Russia15 citationsDOI

Abstract

Рассмотрены особенности технологических процессов в производстве интегральных схем с различными минимальными проектными нормами, а также возможности применения технологий с топологическими размерами менее 5 нм для создания МОП-транзисторов и интегральных схем на их основе.

Topics & Concepts

MedicineMilitary Technology and StrategiesLegal and Regulatory AnalysisLinguistic, Cultural, and Literary Studies