Close oxygen coupled low-pressure chemical vapor deposition growth of high quality <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si1.svg"> <mml:mrow> <mml:mi>β</mml:mi> <mml:mo linebreak="goodbreak" linebreakstyle="after">−</mml:mo> <mml:mi>G</mml:mi> <mml:msub> <mml:mi>a</mml:mi> <mml:mn>2</mml:mn> </mml:msub> <mml:msub> <mml:mi>O</mml:mi> <mml:mn>3</mml:mn> </mml:msub> </mml:mrow> </mml:math> on sapphire

Fatih Akyol, İlkay Demir