Litcius/Paper detail

Al2O3 ALD films grown using TMA + rare isotope 2<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si2.svg"><mml:mrow><mml:msubsup><mml:mrow><mml:mtext>H</mml:mtext></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>2</mml:mn></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>16</mml:mn></mml:mrow></mml:msubsup></mml:mrow></mml:math>O and 1<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si3.svg"><mml:mrow><mml:msubsup><mml:mrow><mml:mtext>H</mml:mtext></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>2</mml:mn></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>18</mml:mn></mml:mrow></mml:msubsup></mml:mrow></mml:math>O precursors

Susanna Kinnunen, Kai Arstila, Timo Sajavaara

2021Applied Surface Science21 citationsDOI

Topics & Concepts

HydrogenElastic recoil detectionOxygenAnalytical Chemistry (journal)Carbon fibersChemistryMaterials scienceOrganic chemistryComposite numberComposite materialSemiconductor materials and devicesDiamond and Carbon-based Materials ResearchElectronic and Structural Properties of Oxides
Al2O3 ALD films grown using TMA + rare isotope 2<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si2.svg"><mml:mrow><mml:msubsup><mml:mrow><mml:mtext>H</mml:mtext></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>2</mml:mn></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>16</mml:mn></mml:mrow></mml:msubsup></mml:mrow></mml:math>O and 1<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" altimg="si3.svg"><mml:mrow><mml:msubsup><mml:mrow><mml:mtext>H</mml:mtext></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>2</mml:mn></mml:mrow><mml:mrow><mml:mn>18</mml:mn></mml:mrow></mml:msubsup></mml:mrow></mml:math>O precursors | Litcius