Single photon detection performance of highly disordered NbTiN thin films
Ruoyan Ma, Rui Shu, Xingyu Zhang, Aobo Yu, Jia Huang, You Xiao, Huiqin Yu, Xiaoyu Liu, Hao Li, Per Eklund, Xiaofu Zhang, Lixing You
Abstract
Abstract We experimentally investigated the detection performance of highly disordered <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Nb</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Ti</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>1</mml:mn> <mml:mo>−</mml:mo> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mi mathvariant="normal">N</mml:mi> <mml:mspace width="0.25em"/> </mml:math> based superconducting nanowire single photon detectors (SNSPDs). The dependence on the composition of the transition temperature <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi>T</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi>c</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> </mml:math> for <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Nb</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Ti</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>1</mml:mn> <mml:mo>−</mml:mo> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mi mathvariant="normal">N</mml:mi> </mml:math> films show a dome-like behavior on the Nb content, with a maximal <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi>T</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi>c</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> </mml:math> at <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Nb</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mo>∼</mml:mo> <mml:mn>0.65</mml:mn> <mml:mo>,</mml:mo> </mml:math> and the <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Nb</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>0.65</mml:mn> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Ti</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>0.35</mml:mn> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mi mathvariant="normal">N</mml:mi> </mml:math> films also combine relatively large sheet resistance and intermediate residual resistivity ratio. Moreover, 60-nm-wide and 7-nm-thick <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Nb</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>0.65</mml:mn> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Ti</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>0.35</mml:mn> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mi mathvariant="normal">N</mml:mi> </mml:math> nanowires show a switching current as high as 14.5 μ A, and saturated intrinsic detection efficiency with a plateau of more than 2 μ A at 2.4 K. Finally, the corresponding SNSPDs on an alternative SiO 2 /Ta 2 O 5 dielectric mirror showed a system detection efficiency of approximately 92% for 1550 nm photons, and the timing jitter is around 26 ps. Our results demonstrate that the highly disordered <mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" overflow="scroll"> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Nb</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:msub> <mml:mrow> <mml:mi mathvariant="normal">Ti</mml:mi> </mml:mrow> <mml:mrow> <mml:mn>1</mml:mn> <mml:mo>−</mml:mo> <mml:mi>x</mml:mi> </mml:mrow> </mml:msub> <mml:mi mathvariant="normal">N</mml:mi> </mml:math>